에이루트 子, 대만 반도체 기업향 신규 노광장비 수주… 해외 공략 가속

에이루트의 반도체 장비 전문 자회사 앤에스알시(NSRC)는 대만 반도체기업과 110만 달러 규모 '아이라인(i-line)' 리퍼비시 노광장비 공급계약을 체결했다고 15일 밝혔다.

최근 중국 반도체 기업과 140만달러 규모의 미세공정용 고해상도 노광장비 관련 기술용역 계약을 체결한 데 이은 추가 성과다.

이번 수주에 따라 앤에스알시는 자체 기술력을 바탕으로 장비 고도화를 거쳐 현지 고객사의 생산 라인 규격에 맞춘 아이라인 리퍼비시 노광장비를 공급한다.

해당 장비는 반도체 웨이퍼 위에 회로 패턴을 형성하는 노광 공정에 적용되며, 다양한 반도체 생산 공정에서 활용도가 높다....