에코프로에이치엔, 삼성E&A에 330억 규모 온실가스 저감시스템 공급

[서울=뉴시스]이창훈 기자 = 에코프로에이치엔이 삼성E&A와 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS) 공급 계약을 체결했다고 27일 밝혔다.

에코프로에이치엔이 반도체 초호황 국면에서 RCS 공급을 지속 확대하고 있다는 분석이다.

에코프로에이치엔 관계자는 "이번 계약은 330억원 규모로, 공급된 설비는 국내 반도체 기업에 도입될 예정"이라고 설명했다.

에코프로에이치엔은 이번 수주를 발판 삼아 국내 반도체 설비 확장과 연계한 수주 확대에 나선다는 구상이다.

RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다.

PFCs는 이산화탄소 대비 최대 수만 배 이상 높은 지구온난화지수(GWP)를 지니고 있어, 반도체 제조 현장에서 해결해야 할 핵심 과제로 꼽힌다.

기존 시스템은 온실가스 저감을 위해 1300~1400℃ 수준의 초고온 공정이 필요하다.

반면 에코프로에이치엔의 RCS는 약 750~800℃ 수준에서 온실가스를 분해할 수 있어 에너지 사용량을 약 95% 절감할 수 있다.

에코프로에이치엔 관계자는 "차별화된 기술을 바탕으로 국내는 물론 글로벌 반도체 시장으로 고객사를 다변화할 것"이라고 밝혔다.

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