에코프로에이치엔, 삼성E&A에 반도체 공정 RCS 공급…330억 규모

[지디넷코리아]에코프로에이치엔이 삼성E&A에 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS)을 공급한다.

이번 계약은 330억원 규모로, 공급된 설비는 국내 반도체사에 도입될 예정이다.에코프로에이치엔은 삼성E&A와 RCS 공급 계약을 체결했다고 27일 공시했다.RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다.

PFCs는 CO2 대비 수천~수만 배 이상 높은 지구온난화지수(GWP)를 지니고 있어, 반도체 제조 현장에서 반드시 해결해야 할 핵심 환경 과제로 꼽힌다.기존의 열분해 처리 시스템은 온실가스 저감을 위해 1300~1400℃ 수준의 초고온 공정이 필요했지만, 에코프로에이치엔의 RCS는 약 750~800℃ 수준에서 온실가스를 분해할 수 있다.

에너지 사용량을 약 95% 절감하면서도 효율이 높다는 설명이다.에코프로에이치엔은 국내 반도체사의 글로벌 생산거점 투자 확대 흐름에 맞춰, 북미를 비롯한 해외 반도체 기업으로 고객사를 다변화하며 글로벌 사업 영토를 넓혀간다는 계획이다.에코프로에이치엔 관계자는 “이번 수주는 당사의 독보적인 온실가스 저감 기술력과 설비 신뢰성을 재확인받은 결과”라며 “앞으로도 차별화된 기술을 바탕으로 국내는 물론 글로벌 반도체 시장으로 고객사를 다변화해 나갈 것”이라고 밝혔다. ...