코셈, 대기압 전자현미경 핵심기술 日 특허 등록

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 주사전자현미경(SEM) 전문기업 코셈은 대기압 환경에서 고해상도 분석을 구현하는 핵심 기술인 '대기압 전자현미경용 전도성 초박막 2차 전자 검출기'에 대해 일본 특허청(JPO)으로부터 특허 등록을 완료했다고 27일 밝혔다.

회사 측에 따르면 이번 특허는 국내 선출원을 기초로 일본에 출원한 기술로, 일본 특허청의 심사를 거쳐 최종 등록됐다. 이에 따라 코셈은 오는 2045년 5월 12일까지 일본에서 해당 기술에 관한 독점적 권리를 행사할 수 있게 됐다.

이 특허는 그래핀 등 전도성 초박막을 활용해 전자 신호를 보다 효율적으로 검출할 수 있는 2차 전자 검출기 기술이다. 대기압 환경에서는 공기 분자와의 충돌로 전자 신호가 약해져 이를 얼마나 효율적으로 검출하느냐가 전자현미경의 성능을 좌우한다. 회사는 해당 기술을 대기압 전자현미경에 적용할 경우 전자 신호 손실을 최소화해 대기압 환경에서도 진공 환경에 준하는 고해상도 이미지 구현이 가능하다고 설명했다.

대기압 전자현미경은 시료를 별도의 진공 처리 없이 관찰할 수 있어 최근 바이오·의료 분야를 비롯해 반도체와 이차전지 생산 공정 등 다양한 산업으로 활용 범위가 확대되고 있다.

이준희 코셈 대표이사는 "국내 특허에 이어 일본 특허까지 확보한 만큼, 이를 기반으로 차세대 대기압 SEM 제품군의 기술 경쟁력을 강화하고 글로벌 시장 공략을 확대해나가겠다"고 말했다.

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