中, DUV 노광장비 생산 돌입…ASML 의존 않고 ‘반도체 자립’

중국의 반도체 장비업체가 자체 개발한 심자외선(DUV) 노광장비를 생산하기 시작한 것으로 알려지면서 중국의 반도체 자립에 한층 속도가 붙을 전망이다.27일(현지시간) 미 정보기술(IT) 전문매체 디인포메이션과 로이터통신 등에 따르면 상하이에 본사를 둔 국유 기업이 액침식 DUV 노광장비 생산을 시작했다.

디 인포메이션은 해당 회사명을 공개하지 않았다.

다만 상하이 위량성테크놀로지(上海宇量昇科技)를 포함한 여러 기업의 DUV 개발팀이 합류했다가 전했다.

해당 업체에서 생산된 노광장비는 올해 안에 중국 메모리 반도체 대표기업인 창신메모리테크놀로지(CXMT)와 화훙반도체, SMIC 등에 공급될 예정이다.

다만 생산 규모는 많지 크지 않은 것으로 알려졌다.

올해 약 5대를 시작으로 내년에는 약 20대의 DUV 장비가 생산될 것이라고 소식통은 전했다.익명을 요구한 소식통들은 디 인포메이션에 “이번 기술적 돌파는 장기적으로 중국 시장에서 ASML의 지위를 위협할 수 있는 계기가 될 수 있다”고 ...