[더벨]신성이엔지, 자체 개발 제습 모듈 ‘EDM’ 100대 출하

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신성이엔지가 자체 개발한 장비용 제습 모듈 ‘EDM(Equipment Dehumidify Module)’의 누적 출하량이 100대를 돌파했다고 2일 밝혔다.

지난 2023년 자체 개발을 완료하고 이듬해 3월 첫 납품을 시작한지 약 2년 만의 성과다.

EDM은 파티클 필터링(미세입자 제거)과 제습 기능을 하나의 모듈에 통합한 장비로 반도체 제조공정에서 필수 설비로 꼽힌다.

고성능 로터를 이용해 상대습도를 5%RH 수준까지 정밀하게 제어할 수 있고 실시간 습도 감지 센서와 자동제어시스템을 통해 공정 중에도 안정적인 제습 환경을 유지한다.

제조 라인 내 설치가 용이한 초소형 사이즈를 구현한 것이 특징이다....