에코프로에이치엔, 삼성E&A와 330억 규모 RCS 공급 계약

[디지털투데이 석대건 기자] 에코프로에이치엔은 삼성E&A와 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS) 공급 계약을 체결했다고 27일 밝혔다.

계약 규모는 330억원이며, 공급된 설비는 국내 반도체사에 투입된다.RCS는 반도체 공정에서 나오는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 저감 시스템이다.

PFC는 이산화탄소 대비 수천~수만 배 높은 지구온난화지수를 지녀 반도체 제조 현장의 핵심 환경 규제 대상이다.

에코프로에이치엔은 촉매 기반 기술로 약 750~800℃에서 PFC를 분해한다.

기존 열분해 방식이 1300~1400℃를 요구하는 ...