‘반도체 제조 핵심’ EUV 장비 도입, 최대 25일 단축

‘특정설비’ 기준 적용 개정안 의결해외 기관 검사비 장비당 5억 절감극자외선(EUV)을 이용해 웨이퍼에 초미세 회로를 그리는 EUV 노광장비는 첨단 반도체 제조에 핵심 장비다.

네덜란드 기업 ASML에서 독점 생산하는 장비로, EUV 노광장비를 공급받기 위해 수많은 반도체 기업들이 대기하기도 해 ASML을 ‘슈퍼 을’ 기업으로 부르기도 한다.이에 정부가 E··· ...