中 국영기업 DUV 노광장비 자체생산…ASML 'EUV 철옹성' 균열 내나

[차이나테크] 중국이 침지형 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 착수하면서 네덜란드 ASML이 오랜 기간 독점해 온 노광장비 시장에 균열을 낼지 주목된다.

29일(현지시간) 블룸버그통신은 중국 상하이 소재 국영기업이 침지형(Immersion) DUV 노광장비 생산을 시작하자 "이번 기술적 도약은 중국이 외부의 예상보다 빠른 속도로 발전하고 있음을 의미한다"고 보도했다.

해당 국영기업은 올해 생산되는 장비 약 5대를 중국 최대 파운드리 업체 SMIC와 화훙반도체, CXMT 등에 공급할 예정이다.

내년에는 생산량을 약 20대로 늘릴 방침이다....