'유진테크와 특허분쟁' 코쿠사이, 특허 1건 유효 판단...'정정 4번' 권리범위↓

[지디넷코리아]유진테크와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이가 특허 1건에 대해 유효라는 판단을 받았다.

쟁점 특허 4건 중 특허심판원 판단이 나오지 않은 마지막 특허였다.

하지만 이 특허는 4차례 정정으로 권리범위가 좁혀졌기 때문에, 코쿠사이가 유진테크의 특허침해를 입증하기 쉽지 않을 것으로 예상된다.특허심판원은 지난 22일 코쿠사이의 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허) 무효심판에서 유진테크 청구에 대해 '일부기각·일부각하' 심결했다.

유진테크 청구를 모두 받아들이지 않은 것으로, 특허심판원은 '644 특허가 유효라고 판단했다.

하지만 코쿠사이의 '644 특허는 권리범위가 좁혀졌다.

코쿠사이가 '644 특허 무효심판 과정에서 특허를 4차례 정정했기 때문이다.

일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 특허권자가 청구한다.

이번 특허심판원 무효심판 심결에 대해 유진테크는 특허법원에 항소(심결취소소송)할 수 있다.유진테크와 코쿠사이가 다투는 코쿠사이 특허는 모두 4건이다.

코쿠사이가 유진테크를 상대로 특허 4건을 사용해 지난 2024년 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기하자, 유진테크는 대응 차원에서 쟁점 특허 4건에 대해 특허심판원에 무효심판을 청구했다.

특허심판원에서 시작한 무효분쟁에선 유진테크가 대체로 앞서고 있다.

유진테크는 이달 중순 특허법원에서 코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052, 아래 '052 특허)가 유효라는 판결을 받았다.

앞서 특허심판원이 '052 특허는 유효라고 심결했지만 특허법원이 이를 뒤집었다.

또, 특허법원은 '052 특허에 대한 코쿠사이의 정정심판 청구를 기각했던 특허심판원 심결을 유지했다.

특허법원은 지난 5월 코쿠사이의 또 다른 특허 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961, 아래 '961 특허)에 대해서 일무 무효(일부성립일부기각)라는 특허심판원 판단을 유지한 바 있다.

앞서 특허심판원은 지난 2024년 12월 코쿠사이의 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다.

유진테크의 주장 중 7항을 빼고는 특허심판원이 모두 받아들였다.

특허법원도 유효라고 판결한 7항은 변수가 될 수 있다.

코쿠사이는 '961 특허도 정정하려고 했지만 특허법원은 받아들이지 않았다.

'961 특허의 쟁점 청구항이 대부분 무효라고 판단한 특허법원 판결에 대해 코쿠사이는 대법원에 상고했다.

특허사건은 대법원에서 결론이 바뀌는 경우가 많진 않다.

코쿠사이의 또 다른 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법 및 기록매체'(등록번호 1969277)에 대해 특허심판원은 2025년 12월 일부 청구항이 무효라고 심결했다.

특허심판원 심결에 대해 쌍방이 특허법원에 항소했다.코쿠사이는 과거 삼성전자의 특정 공정용 ALD 장비를 독점 공급해왔는데, 유진테크가 이 시장에 진입하면서 특허분쟁이 시작됐다. ...